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Desarrollo Y Evaluación De Un Método Para Producir Dispositivos Mems En Un Proceso Cmos Estándard

TSI-020400-2008-121

Partners: Universitat Politècnica de Catalunya, Baolab Microsystems SL, Consultores de Ingeniería Mecánica Works SL, U

Dates: 1-1-2009 to 31-3-2010

Contact professor: Madrenas Boadas, Jordi jordi.madrenas@upc.edu

Other researchers: -

Web page (if available): www.imb-cnm.csic.es/index.php

Funding institution: MIN INDUST TURISMO COMERCIO (MITYC)